等離子體原理SPV-150plasma清洗機(jī)通過對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
  
  一、產(chǎn)品概述
  SPV-150真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner),氣體通過激勵(lì)電源離化成等離子態(tài),等離子體作用于產(chǎn)品表面,清洗產(chǎn)品表面污染物,提高表面活性,增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
  二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個(gè)部分:真空腔及真空系統(tǒng),等離子體發(fā)生器,控制系統(tǒng)。
 ?。ˋ)真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi),左右兩側(cè)為可拆門,因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,核心部件真空泵(真空泵組)
 ?。˙)等離子體發(fā)生器等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產(chǎn)生低溫等離子體。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電壓加到電極板上,當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時(shí),產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象,放電后電路會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)值,保證電路正常穩(wěn)定放電。
 ?。–)控制系統(tǒng)本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設(shè)備的工藝流程控制:真空泵啟動(dòng)->擋板閥開啟->達(dá)到設(shè)定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時(shí)間到破真空->工作完成。設(shè)備分自動(dòng)和手動(dòng)兩種方式。
  三、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  1、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害,同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題;
  2、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序??梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線的處理效率;
  3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性;
  4、使用等離子清洗,避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施,所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生;
  5、使用等離子清洗,可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn);
  6、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa,這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高,加上清洗過程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑,這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝;
  7、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng),這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好;
  8、在完成清洗去污的同時(shí),還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的;
  9、等離子體清洗可以不分處理對(duì)象,它可以處理各種各樣的材質(zhì),無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物)都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。
  四、產(chǎn)品規(guī)格
  1、配置清單
  
   2、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
   
   3、損耗清單
   
   注:耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場(chǎng)的使用條件有關(guān)系,以上壽命時(shí)間僅供參考。